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洁净厂房净化空调设计实例

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洁净厂房净化空调设计实例

发布日期:2019-03-21 作者: 点击:


      其工艺流程为:原材料 SOI 晶圆片经氧化、离子注入、键合、切割 、退火 、抛光等工序后成品出厂 。该项目主要生产厂房面积为 6 100 m 2 , 生产配套辅助建筑(含废水处理站、特种气体站 、柴油发电机房等)面积为 800 m 2 。其中洁净室面积约为 1 600m2(一期), 2014 年 10 月试投产, 用于工业化生产10 .16 ~ 20 .32 cm(4 ~ 8 in)SO I 。厂房区划图见图 1 。该洁净室洁净级别主要为 ISO 4 .5 级和 ISO 5 .5 级,局部为 ISO 2 .5 级。室内主要设计参数见表 1 。  


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图 1 厂房平面区划示意


        根据建设方的要求, 除了满足生产厂房工艺的净化空调参数要求以外, 设计时还必须考虑到工艺设备不是一次安装就位, 而是陆续投入运行;且平时生产中, 排风设备根据需要运行, 房间内排风量是变化的 ;工艺设备的开启与关闭会带来房间内散热量的变化。设计中应采取相应的控制措施确保各净化空调参数满足要求。

该工程除净化空调系统外, 还涉及酸碱排风处理系统, 氢气 、硅烷事故通风系统以及洁净走廊排烟系统。在此仅介绍净化空调的设计。

                                                                                                                                                净化空调系统设计

         该工程净化空调系统采用新风机组 +干表冷盘管+风机过滤单元(FF U)的组合形式。空调区域分为三部分, 即送风上夹层静压箱、生产区、回风下夹层。洁净室内的气流流型为垂直单向流, 空气由吊顶上的风机过滤单元(FF U)中的高效过滤器过滤后送入生产区,再经地面带孔板高架地板进入回风下 夹层, 通过两侧回风夹道, 经干表冷盘管冷却后回至送风上夹层,与送入上夹层的新风混合后再送入生产区(见图 2 , 因角度问题, 左侧回风夹墙和干表冷器未出现在图中)。新风机组的送风补充工艺排风(酸、碱排风等)及维持房间正压所需风量, 同时满足生产区内人员对新风量的要求。由于室内散湿量小, 热湿比※+∞, 所以新风处理到室内空气状态点的机器露点, 主要承担新风热湿负荷和洁净室内的全部湿负荷 ;干盘管主要承担洁净室内显热负荷。洁净室内的洁净度由风机过滤单元(FFU)保证。

 


        图2 洁净室送风流程示意




       空调负荷计算



        夏季空调冷负荷按照GB 50019 —2003 《采暖通风与空气调节设计规范》要求, 根据工程的实际情况计算得到。该工程工艺洁净房间(除外延区) 均位于建筑内区, 外区为动力站房与走廊, 所有外区冬季均设有散热器供暖系统, 所以围护结构负荷很小, 工艺设备及其他得热负荷冬夏季变化不大, 因此洁净室全年处于供冷工况。洁净室内散湿量较少, 室内负荷以显热负荷(工艺设备负荷、照明负荷、人员负荷)为主。


       该工程洁净室洁净级别高, 所需FFU 数量较多, 某些房间吊顶基本处于满布状态, 在计算房间显热负荷时要计入FFU 的风机温升发热量。

经计算, 一期工程夏季空调系统耗冷量为1 120 kW 。选用 2 台 814 kW 螺杆式水冷冷水机组(含工艺设备用冷量), 空调冷水为一次泵系统。

 净化送风量及FFU 选型、布置



      根据GB 50073 —2001 《洁净厂房设计规范》对洁净室送风量的要求, 分别计算各房间FFU 的吊顶布置率。该工程室内吊顶高度为3 ~ 4 m 。洁净级别为 2 .5 , 4 .5 级的洁净室送风断面风速为0 .3 m/ s 。洁净级别为 5 .5 级的洁净室换气次数为 80 h-1  , 洁净级别为 6 级的洁净室换气次数为 60 h-1 。设计采用1 200 mm ×600 mm 的FFU , 单个FFU 的风量为900 m /h 。经计算, FFU 吊顶布置率见表 2 。

 

    在FFU 选型时需注意机外余压应能克服回风格栅 、回风夹墙和干表冷器的阻力 ;同时考虑噪声叠加效应, 单台FFU A 声级噪声不应大于 53 dB 。


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本文网址:http://www.sjzndhj.com/news/441.html

关键词:洁净手术室,层流手术室,洁净室

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